一、仪器介绍
大平台硅片检测显微镜CGM-500E是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。CGM-500E配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头，是检测太阳能电池硅片的“金字塔”的微观形貌分布情况及硅片的缺陷分析的仪器。
二、技术参数
1.目镜
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类 别
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放大倍数
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视场(mm)
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大视野目镜
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10X
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φ18
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2.物镜
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类 型
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放大倍数
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数值孔径NA
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工作距离（mm）
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平场消色差物镜
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5X
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0.12
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18.3
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10X
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0.25
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8.9
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20X
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0.40
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8.7
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40X
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0.60
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3.7
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80X
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0.80
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0.96
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3.光学放大倍数：50X -- 800X
系统参考放大倍数：50X-5000X
4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台：(配有快速移动装置)
尺寸：250*230mm 移动范围：153*153mm[标配]
尺寸：274*274mm 移动范围：203*203mm[选配]
7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调
9.防霉系统
10.数字摄像头、
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(CGM-500E)：1、硅片检测显微镜 2、专用适配镜 3、高像素摄像头 4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(CGM-500E)：50--4000倍
五、选购件
1、二维测量软件
2、目镜： 20X 10X(带刻度)
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